| 規格 | |||
| 氣體名稱 | 化學式 | 純度(%) | 雜質（ppm） |
| 氮氣 | N2 | 100.00% | O2≤3, H2≤1, CO≤1, CO2≤1, CH4≤1, H2O≤3 |
| 100.00% | H2O≤0.2, O2≤0.2, H2≤0.1, CO2≤0.1, CO≤0.1, CH4≤0.2 | ||
氮氣
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