| 規格 | |||
| 氣體名稱 | 化學式 | 純度(%) | 雜質（ppm） |
| 氧氣 | O2 | 100.00% | H2≤0.5, Ar≤2, N2≤5, CO2≤0.5, total hydrocarbon≤0.5, H2O≤2 |
| 100.00% | H2≤0.1, Ar≤0.2, N2≤0.1, CO2≤0.1, total hydrocarbon≤0.1, H2O≤0.5 | ||
氧氣
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